低コスト、高品質なファインセラミックス製品をご提供いたします
半導体・液晶、電子部品
- 「低コスト」「短納期」「高品質」「高純度」などの幅広いニーズにお応えするために、国内外より調達。
さまざまな用途・環境で活用できるファインセラミックス製品をご提案いたします。
製品詳細
セラミックスとは
セラミックスは、高硬度・耐薬品性・耐熱性に優れた産業材料です。
千代田交易はセラミックス製品を幅広く取りそろえることで、次のようなセラミックス使用の目的やご要望にお応えします。
１. 耐熱性・耐摩耗性・耐薬品性等の向上にセラミックスを検討したい
２. セラミックスのコストをできるだけ低減したい
３. 絶縁にしたい
各種セラミックスの種類・物性
アルミナ Al2O3
【特長】
・絶縁性、耐熱性、耐摩耗性に優れた材質です
・セラミックスの中では材料費が比較的安価で、加工性も良く幅広い用途で使用されています
・高純度アルミナ(≧99.5%)は耐プラズマ性にも優れ、半導体関連でも多く使用されています
【用途・製作事例】
半導体製造装置部品、ドーム、フォーカスリング、クランプリング、搬送ロボットハンド、ステッパー用吸着リング、シャワープレート、カソードベース、インシュレーター、電気絶縁部品、碍子、スペーサー、絶縁管、ブッシュ
ジルコニア ZrO2
【特長】
・機械強度、靭性に優れ、刃物(ハサミや包丁)にも利用されています
・熱膨張率も金属に近く、金属と組み合わせた使用も適しています
・熱伝導率が他のセラミックスに比べ低く、断熱効果があります
【用途・製作事例】
電子部品、測定ステージ、検測ドラム、吸着ノズル、産業機械用刃物、カッター、スリッター、耐摩耗部品、ベアリング、ガイドピン、レールボトムプレート
窒化アルミ AlN
【特長】
・熱伝導性、電気絶縁性が高いことが特徴です
・高熱伝導性を必要とする半導体製造装置用部品に多く採用されています
【用途・製作事例】
半導体製造装置部品、静電チャック、ウエハ加熱用ヒーター
窒化ケイ素 Si3N4
【特長】
・耐熱衝撃性に優れ高温まで強度が低下しない特徴を持っています
・エンジン部品や鋳造部品等、幅広い分野で使用されています
【用途・製作事例】
鋳造部品、ヒーターチューブ、熱電対保護管、ストーク、ダイカスト機部品、プランジャー、スリーブ、耐摩耗部品、ベアリング、モーターシャフト、ガイドローラー
炭化ケイ素 SiC
【特長】
・1500℃の高温下でも使用可能
・耐食性も優れ、メカニカルシールやケミカルポンプ部品でも使用されています
・大型部品(□1m程度)の製作が可能です
【用途・製作事例】
耐熱部品、るつぼ、バーナーノズル、保護管、摺動部品、ベアリング、メカニカルシール
サファイア Sapphire
【特長】
・単結晶 Al2O3
・光透過率が高く、機械的・熱的特性に優れています
・ガラス、石英等の透明材料の中で極めて優れた材料特性を有しています
【用途・製作事例】
半導体製造装置部品、チャンバー用窓、キャリアウエハ、光学用部品、フラットレンズ、カバー
製品情報
