ターボ分子ポンプの保守,修理を行います
半導体・液晶
- 千代田交易株式会社では、世界すべての既存ターボ分子ポンプ製造メーカー製の各ターボ分子ポンプおよびターボ分子ポンプ用コントローラーの修理等各種サービスを当社一社で一括して対応いたします。
メーカーの保守期間が終了した旧型モデルの修理にも対応することで、生産設備の延命を図り地球環境保全に貢献いたします。
また、お客様のさまざまなご要望にも柔軟に対応できるノウハウがあります。
TMP事業内容
CHIYODA対応サービス
ターボ分子ポンプ
- オーバーホール
- 修理
- エクスチェンジ
- 代替機提供
- 中古機販売(オーバーホール、信頼性テスト済)
ターボ分子ポンプ用コントローラー
- 予防保全、メンテナンス
- 修理
- エクスチェンジ
- 代替機・互換機提供
- 中古機販売(メンテナンス、駆動確認済)
CHIYODA TMP 保守の強み
1. ターボ分子ポンプ、ターボ分子ポンプ用コントローラーの保守、修理対応可能
2. 世界すべての既存ターボ分子ポンプ製造メーカー製 各機体修理を“当社一社で一括対応”
3. 各種信頼性試験結果を含むサービスレポート提供サービス
4. メーカー保守期間終了旧型モデルの修理に対応、生産設備の延命に寄与
5. 専門知識および、 長年に渡る豊富な実績、経験に基づいた、 各種ご要望に柔軟に対応できるノウハウ
CHIYODA修理受託業務の流れ
対応機種（メーカー）一覧
日々、研究開発を行い対応機種の増加に努めております。下記記載機種以外でもお問合せ願います。
「枝番を含む詳細型番」「駆動状態(故障症状)」「御要望(御依頼内容)」をお待ちしております。
メーカー名をクリックで品番一覧へ
1) LEYBOLD(ライボルト)
2) PFEIFFER(ファィファーバキューム)
3) Alcatel(旧アルカテルバキュームテクノロジー)
4) Varian(旧バリアン)
5) OSAKA VACUUM(大阪真空機器製作所)
6) Seiko Seiki(セイコー精機) (BOC EDWARDS)
7) Ebara(荏原製作所)
8) SHIMADZU(島津製作所)
9) Mitsubishi(三菱重工業)
10) ULVAC(アルバック)
1)LEYBOLD(ライボルト)
ドイツ・ケルン市に本社をおくライボルト社製ターボ分子ポンプ、TURBOVAC および TURBOVAC MAGシリーズ(磁気軸受型)の各種御要望に対応いたします。また状態によりローターCoating再生レシピのご用意がございます。
- TURBOVAC 35LS
- TURBOVAC 50
- TURBOVAC 150
- TURBOVAC 151
- TURBOVAC 340M
- TURBOVAC 360
- TURBOVAC 361C
- TURBOVAC 450
- TURBOVAC 600C
- TURBOVAC 1000C
- TURBOVAC 1100C
- TURBOVAC 1500L
- TURBOVAC TW70H
- TURBOVAC TW250S
- TURBOVAC TW300
- TURBOVAC TW400
- TURBOVAC TW701
- TURBOVAC T1600
- MAG 340
- MAG 400
- MAG 900
- MAG 1200
- MAG 2000C
- MAG 2000CT
- MAG 2010C
- MAG W830
- MAG W1300C
- MAG W1500
- MAG W1600
- MAG W2000
- MAG W2010CHT
- MAG W2012
- MAG W2200
- MAG W2800
- MAG W3200
- TURBOTRONIK NT10
- TURBOTRONIK NT12
- TURBOTRONIK NT20
- TURBOTRONIK NT150/360
- TURBOTRONIK NT151/361
- TURBOTRONIK NT340
- TURBOTRONIK NT340M
- TURBOTRONIK NT1000/1500
- TURBOTRONIK NT1600
- TURBOTRONIK NT2000
- TURBO.DRIVE 20
- TURBO.DRIVE 700
- TURBO.DRIVE S
- MAG.DRIVE 2000
- MAG.DRIVE Digital
2) PFEIFFER(ファィファーバキューム)
ドイツ・アスラー市に本社をおくファィファーバキューム社製TPH・TMHシリーズ・HIPACEシリーズほかの修理に対応いたします。ローターカーボン部の新品交換対応が可能です。また、同社製Vaccum Gauge真空計の修理も承ります。
- TPH055
- TPH062
- TPH170
- TPH220
- TPH240
- TPH510
- TPH520
- TPH521
- TPH1201
- TPH1501
- TPH1600
- TPH2101UPC
- TPH2101PCX
- TPH2200
- TPH2301
- TPU170
- TPU510
- TPU2200
- TPU2201
- TMU064
- TMU065
- TMU071
- TMU260
- TMU261
- TMU521
- HIPACE300
- HIPACE700
- HIPACE800
- HIPACE1500
- HIPACE2300
- TMH063
- TMH064
- TMH071
- TMH260
- TMH261
- TMH262
- TMH520
- TMH521
- TMH1001
- TMH1600
- TMH1601
- PKR251
- PKR261
- IKR260
- IKR261
- DUC001
- DCU100
- DCU200
- DCU300
- DCU600
- TPS100
- TPS200
- TCP015
- TPS300
- TPS600
- TCP121
- TCP350
- TCP380
- TCP600
- TCP5000
- TC100
- TC110
- TC400
- TC600
- TC750
- TC750-Spezial
- TC1200
3) Alcatel(旧アルカテルバキュームテクノロジー)
旧アルカテルバキュームテクノロジー社製(Adixen)、ATP・ATH・MDP・PTM各タイプの修理に対応いたします。
また、ACTシリーズおよびMAG POWER 他コントローラー修理も承ります。
- ATP80
- ATP100
- ATP150
- ATP300
- ATP400
- ATP900
- ATH400M
- ATH1300M
- ATH1600M
- ATH1603M
- ATH2300M
- ATH2303M
- MDP5011
- MDP5030
- MDP5081
- MDP5101
- PTM5400
- PTM5154
- ACT100T
- ACT200T
- ACT600T
- ACT1000T
- ACT600M
- ACT1300/1600M
- ACT2300M
- CFV100
- CFV900
- MAG POWER
4) Varian(旧バリアン)
旧バリアン社製ターボ分子ポンプ、Turbo-V Macro Torrシリーズ・TV Navigatorシリーズほかの修理に対応いたします。
Turbo-V controllerシリーズの修理対応も可能です。
- Turbo-V70
- Turbo-V81
- Turbo-V200
- Turbo-V250
- Turbo-V300HT
- Turbo-V450
- Turbo-V550
- Turbo-V700HT
- Turbo-V1000A
- Turbo-V1000HT
- Turbo-V1800A
- Turbo-V1K-G
- Turbo-V2K-G
- Turbo-V3K-G
- TV301 Navigator
- TV551 Navigator
- TV701 Navigator
- TV801 Navigator
- TV1001 Navigator
- TwisTorr 304FS
- Turbo-V70 controller
- Turbo-V81 controller
- Turbo-V200 controller
- Turbo-V250 controller
- Turbo-V300 controller
- Turbo-V301 controller
- Turbo-V304 controller
- Turbo-V450 controller
- Turbo-V550 controller
- Turbo-V551 controller
- Turbo-V700 controller
- Turbo-V701 controller
- Turbo-V801 controller
- Turbo-V1000 controller
- Turbo-V1000A controller
- Turbo-V1000ICE controller
- Turbo-V1001 controller
- Turbo-V1800 controller
- Turbo-V1K controller
5) OSAKA VACUUM(大阪真空機器製作所)
大阪真空機器製作所社製ターボ分子ポンプ TGシリーズ(ベアリング型)・ TG-Mシリーズ(磁気浮上型) ほかに対応いたします。
また、TCおよびTDシリーズのコントローラー修理も可能です。
- TG50
- TG70
- TG200
- TG203
- TG220F
- TG350
- TG370
- TG800
- TG1003
- TG1300
- TG1400
- TG1810
- TG1813
- TG360M
- TG370M
- TG373M
- TG374M
- TG380M
- TG390M
- TG713M
- TG733M
- TG900M
- TG1100M
- TG1133M
- TG1300M
- TG2000M
- TG2003M
- TG2300MBWC-84
- TG3003M
- TG3213EM
- TG3410M
- TG3451M
- TF160
- TS440
- TS443
- TH260
- TH1502
- TH3013
- TC010M
- TC011M
- TC021M
- TC61
- TC64
- TC160
- TC161
- TC200
- TC222
- TC223
- TC350
- TC353
- TC440
- TC520
- TC550
- TC900/1300
- TC1000
- TC1100
- TC1003
- TC1103
- TC1810
- TC1813
- TD370/400
- TD700/1100
- TD701/1101
- TD711/1111
- TD2000
- TD2001
- TD2300
- TD3000
- TD3211
- TD3251
- TD3252
6) Seiko Seiki(セイコー精機)
セイコー精機社製ターボ分子ポンプSTPシリーズおよびコントローラーSCUシリーズの修理に対応いたします。Auto Tuning機能搭載以前機(旧型)の修理対応も可能です。
また必要に応じてAuto Tuning作業代行もいたします。
- STP-H200C
- STP-H300C
- STP-H301C
- STP-H400C
- STP-H600C
- STP-H751E
- STP-H803C
- STP-H1000C
- STP-H1301C
- STP-H1303C
- STP-H2000C
- STP-H2001K1B
- STP-H2002C
- EXT-255
- STP-A803C
- STP-A1303C
- STP-A1303W
- STP-A1603C
- STP-A2203C
- STP-A2203W
- STP-A2503C
- STP-A2503PV
- STP-A3003KV
- STP-A3503C
- STP-A3503W
- STP-XA2603C
- STP-XA2703C
- STP-XA3203C
- STP-XA4503C
- STP-300C
- STP-301C
- STP-400C
- STP-451C
- STP-600C
- STP-603C
- STP-1000C
- STP-1003C
- STP-2001C
- STP-F2203C
- STP-XH2603C
- STP-XH3203C
- STP-iXA2206C
- STP-iXA3306C
- SCU-200
- SCU-300
- SCU-301
- SCU-400
- SCU-600
- SCU-603
- SCU-750
- SCU-800
- SCU-1000
- SCU-1003
- SCU-1400
- SCU-1500
- SCU-1600
- SCU-H200
- SCU-H300
- SCU-H301
- SCU-H400
- SCU-H451
- SCU-H600
- SCU-H751
- SCU-H803
- SCU-H1000
- SCU-H1301
- SCU-H1303
- SCU-H2000
- SCU-H2001
- SCU-H2002
- SCU-H2603
- SCU-A803
- SCU-A1303
- SCU-A2203
- SCU-A2503
- SCU-A2703
- SCU-A2803
- SCU-A3003
- SCU-A3503
- SCU-F2203
- SCU-21D
7) Ebara(荏原製作所)
荏原製作所社製ターボ分子ポンプおよびコントローラー ETシリーズの修理に対応いたします。完全なAuto Tuning機能が搭載されていない仕様となりますので、Controller同時預りのうえ当方で適正位置調整対応をさせていただきます。
- ET300C
- ET300WS
- ET300WSA
- ET300UZ
- ET450C
- ET600WS
- ET600H
- ET800H
- ET800WS
- ET1301WS
- ET1600WS
- ET300A
- ET300W
- ET303W
- ET305W
- ET450W
- ET600W
- ET604W
- ET803H
- ET804H
- ET804W
- ET1604W
- ET1605W
- ET306W-TF
- ET606W-TF
- ET806W-TF
- ET1306W-TF
- ET1606W-TF
8) SHIMADZU(島津製作所)
島津製作所社製各式ターボ分子ポンプ TMPシリーズおよびコントローラー EIシリーズの修理に対応いたします。
また、構成部品腐食対策改善サービスを提供いたします。
- TMP-200LM
- TMP-202LM
- TMP-203LM
- TMP-303LM
- TMP-403LM
- TMP-803LM
- TMP-1002LM
- TMP-1003LM
- TMP-1103LM
- TMP-1303LM
- TMP-1503LM
- TMP-2001LM
- TMP-2003LM
- TMP-2203LM
- TMP-2304LM
- TMP-2403LM
- TMP-2804LM
- TMP-3001LM
- TMP-3003LM
- TMP-3203LMC
- TMP-3403LMC
- TMP-3804LMC
- TMP-4304LMC
- TMP-V2304LM
- TMP-V2804LM
- TMP-V3304LM
- TMP-W2403LMC
- TMP-H3603LMC
- TMP-B300
- TMP-280L
- TMP-550L
- TMP-1000LK
- TMP-1500LK
- EI-150
- EI-281
- EI-551
- EI-1001
- EI-1500
- EI-1501
- EI-1503
- EI-200M
- EI-203M
- EI-303M
- EI-403M
- EI-803M
- EI-1002M
- EI-1003M
- EI-1103M
- EI-1303M
- EI-2003M
- EI-2203M
- EI-3003M
- EI-3203M
- EI-3403M
- EI-3603M
- EI-S04M
- EI-R04M
- EI-V04M
- EI-D203M
- EI-D303M
- EI-D403M
- EI-D803M
- EI-D1003M
- EI-D1303M
- EI-D2003M
- EI-D2203M
- EI-D3003M
- EI-D3203M
- EI-D3403M
- EI-D3603M
9) Mitsubishi(三菱重工業)
三菱重工業社製ターボ分子ポンプ PTシリーズ(半磁気軸受型)・FTシリーズ(磁気軸受型)および PTI FTI 各シリーズのコントローラー修理に対応いたします。
- PT50
- PT150
- PT300
- PT500
- PT1500
- FT300
- FT300W
- FT480W
- FT600D
- FT700A
- FT800W
- FT1200W
- FT1400W
- FT2200W
- FT2300W
- FT3301W
- FT3500D
- PTI-50
- PTI-150
- PTI-300
- PTI-500
- PTI-1500
- FTI-300W
- FTI-350W
- FTI-480W
- FTI-600D
- FTI-700W
- FTI-800W
- FTI-1200W
- FTI-1400W
- FTI-2200W
- FTI-2300W
- FTI-3301W
- FTI-3500W
10) ULVAC(アルバック)
アルバック社製ターボ分子ポンプ UTMシリーズ(半磁気軸受型)・UTM-FW(磁気軸受型)の修理に対応いたします。
- UTM50
- UTM150
- UTM300
- UTM500
- UTM1500
- UTM350FW
- UTM480FW
- UTM800FW
- UTM1200FW
- UTM1400FW
- UTM2300FW
- UTM3301FW
- UTM3302FW
- UTM3303FW
- UTM-H3150FW
- PTI-50
- PTI-150
- PTI-300
- PTI-500
- PTI-1500
- FTI-350W
- FTI-480W
- FTI-800W
- FTI-1200W
- FTI-1400W
- FTI-2300W
- FTI-3301W
- FTI-3302W
- FTI-3303W
製品情報
