半導体業界向けのナノレベル高精度フィルター
フィルム、化学・化成品、インクジェット
- cobetter社では、純水・レジスト・現像液といった半導体製造工程の流体用ろ過フィルターとして、ナノレベルのろ材を使用した高精度なフィルターを取り扱っております。
クラス100のクリーンルームで製造しています。要求レベルに応じた独自の洗浄技術により、高い清浄度のフィルターをご提供します。
また金属イオン除去に特化した純化製品の取り扱いがあります。
製品詳細
おもな特長
１、高い精度
半導体業界の高い要求に応えたナノレベルの高精度ろ過フィルターです。
２、高い清浄度
独自の洗浄技術により、溶出を極限まで抑えた清浄度の高いフィルターです。
ろ材ラインナップ
◆PES(高非対称PES膜)
1次側から2次側へと孔径が小さくなる緻密な高非対称膜構造です。
◆PTFE（疎水性・親水性膜）
耐薬品性が高く、多くのケミカル品のろ過に適しています。
◆Nylon(親水性ナイロン膜)
溶剤ベースのフォトケミカル品のろ過に適しています。
◆UPE(高分子ポリエチレン膜)
レジストや半導体ケミカル品のろ過に適しています。
◆PVDF(親水性PVDF膜)
溶出量が少なく、腐食性の強い薬液のろ過に適しています。
※高純度オールフッ素樹脂製カプセルフィルター・高純度オールフッ素樹脂製ハウジングも取り扱っております。H2SO4、H3PO4、NHO3、SPM、SC1、SC2を含む高温で腐食性の強いケミカル品のろ過に対応しています。
スラリーろ過用デプスフィルター
スラリーろ過用のデプスフィルターを取り扱っております。
・CMP設備のPOUろ過およびスラリー供給システムなど、多様なニーズに合った最適なフィルターをご提案します。積層ロールと積層デプスプリーツを複合した特殊構造も対応可能です。
・独自のテーパー構造を採用したロールタイプのフィルターで、凝集した粒子や大きな粒径の粒子を捕捉し、スラリーの効率的な分級を可能にしています。
・サポートネットの構造でフィルター繊維の脱落を防止しています。
製品情報
