クライオポンプの保守,修理を行います
半導体・液晶
- 千代田交易株式会社では、高真空を要求する生産現場にて使用されるクライオポンプ(CRYO PUMP)のＯ/Ｈ、修理等各種サービスに対応しております。
メーカー生産中止品に関してもO/Hや中古機販売、部品提供等をおこなうことで生産設備の保守および延命化に寄与いたします。
CRYO事業内容
CHIYODA対応サービス
- オーバーホール
- アドゾーバー(absorber)再生
- 修理
- 中古機、関連部品販売
- 現地メンテナンス
CHIYODA CRYO PUMP保守の強み
1. アイシン精機正規代理店としての長年に渡る経験、専門技術
2. 日本国内メーカー製ほぼ全機種の修理対応
3. 豊富な知見、経験に基づいた、 短命機体への長寿命化提案
4. 必要に応じた、現地メンテナンス対応
5. 一部機種の予備機保有に因る、緊急対応等のサービス
CHIYODA修理受託業務の流れ
対応機種（メーカー）一覧
日々、研究開発を行い対応機種の増加に努めております。下記記載機種以外でもお問合せ願います。
「枝番を含む詳細型番」「駆動状態(故障症状)」「御要望(御依頼内容)」をお待ちしております。
メーカー名をクリックで品番一覧へ
1) AISIN(アイシン精機)
2) ULVAC(アルバック)
3) CANON ANELVA(キャノンアネルバ)
4) EDWARDS(旧CTI、旧HELIX)
5) その他
1)AISIN(アイシン精機)
千代田交易はアイシン精機株式会社の正規代理店として、クライオポンプユニットをはじめとしたアイシンクライオシリーズ各種製品のメンテナンス等サービスをおこなっております。
新品ポンプ販売は2014年3月末を以て終了させていただいておりますが、メンテナンス等サービスについては2024年3月末まで継続的対応をしております。
又、2024年4月以降に関しましてもAISIN社御指導のもと、多数のメンテナンス実績を持つメンテサプライヤにて、今までと変わらぬ品質にて対応が可能となりました。
引き続きメンテナンスを承りますので、安心してご依頼下さいます様お願い致します。
- TAP06
- TAP08
- TAP10
- TAP12
- TAP14
- TAP16
- TAP18
- TAP20
- TAP22
- TAP24
- SA06
- SA08
- SA10
- SA12
- SA14
- SA16
- SA18
- SA20
- SA22
- SA24
- GA04
- GA06
- GA08
- GA10
- GA12
- GA14
- GA16
- GA18
- GA20
- GA22
- GA24
- GA26
- GA28
- GA30
- TAC-201K
- TAC-201L
- TAC-221
- TAC-401L
- TAC-401LM
- TAC-401LMSV
- TAC-421
- TAC-601
- TAC-631
- C100G
- C200G
- C300G
2) ULVAC(アルバック)
アルバック社製クライオポンプの修理に対応いたします。
6インチサイズから32インチサイズまで対応可能です。
- U4H
- U6H
- U8H
- U8H-U
- U8HL
- U8HSP
- U10H
- U10HSP
- U12H
- U12HL
- U12HSP
- U16
- U16P
- U20P
- U20H
- U22H
- U22P
- U22WB
- U22H
- U30H
- C10
- C10T
- C10AT
- C15R
- C15T
- C30VRC30VRT
- C30MVR
- C30MVRT
- C30PVRT
- C30PMVRT
- C40R
3) CANON ANELVA(キャノンアネルバ)
キャノンアネルバ社製クライオポンプ CAPシリーズ、Ｐシリーズの修理に対応いたします。
- CAP-80X
- CAP-80H
- CAP-80R
- CAP-80MKⅡ
- CAP-83R
- CAP-100
- CAP-120
- CAP-120X
- CAP-120H
- CAP-120R
- CAP-120MHⅡ
- CAP-121
- CAP-121R
- CAP-160
- CAP-200
- CAP-220
- CRC-420MKⅡ
- CRC-873
- CRC-874
- P-080C
- P-081C
- P-081CL
- P-082C
- P-083C
- P-085C
- P-086C
- P-086CL
- P-087C
- P-100CL
- P-101C
- P-101CL
- P-106C
- P-106CL
- P-120C
- P-120CL
- P-121C
- P-122C
- P-126C
- P-126CL
- P-127C
- P-128C
- P-128CL
- P-160C
- P-161C
- P-166C
- P-201C
- P-226C
- P-421CA
- P-875CA
4) EDWARDS(旧CTI、旧HELIX)
旧CTI社（ヘリックス・テクノロジー・コーポレーション）、旧HELIX社製クライオポンプ修理に対応いたします。
- On-Board 6
- On-Board 8
- On-Board 8F
- On-Board 10
- On-Board 10F
- On-Board 250F
- On-Board 400
- On-Board IS 8F
- On-Board IS 250F
- On-Board IS 320F
- TORR 100 (CT 100)
- TORR 8 (CT 8)
- TORR 8F (CT 8F)
- TORR 10 (CT 10)
- TORR 10F (CT 10F)
- TORR 250F (CT 250F)
- TORR 400 (CT 400)
- 8200
- 8300
- 8500
- 9600
- 9700A
- 1020R
- SC
5) その他
その他製造メーカー製のクライオポンプ修理に対応いたします。
- EBARA FS-8
- EBARA FS-8LP
- DAIKIN V204
- DAIKIN V208
製品情報
