ケミカルポンプの修理を行います
半導体・液晶
- 千代田交易株式会社では、ケミカルポンプの修理サービスに対応しております。
ケミカルポンプは別称、『薬液循環供給ポンプ』『ベローズポンプ』『FLUID DISPENSE SYSTEM』等と呼ばれています。
主に、製造メーカーにてメンテナンス対応が終了した各種モデルの修理を行うことで、生産設備の延命を図り地球環境保全に貢献いたします。
また、改善提案をおこない、生産設備の安定化にも貢献いたします。
CHEMICAL PUMP事業内容
CHIYODA対応サービス
- オーバーホール
- 修理
- 機体改善、延命対策
CHIYODA CHEMICAL PUMP保守の強み
1. 全工程、クリーンルーム内での作業
2. 残留金属異物測定管理を行い、安全性、プロセスのクリーン維持に寄与
3. 専門技術、 長年の故障原因解析および修理実績に基づいた機器改善強化、改善開発能力
4. 各種信頼性テスト実施による修理品質安定性
5. 実際の使用環境に合わせた薬液循環設備にて駆動試験が可能
CHIYODA修理受託業務の流れ
対応機種（メーカー）一覧
実際の使用環境に合わせた薬液循環試験設備を有しており修理後の性能確認が可能です。
下記記載機種以外でもお問合せ願います。
「使用環境及び型式」「駆動状態(故障症状)」「御要望(御依頼内容)」をお待ちしております。
メーカー名をクリックで品番一覧へ
1) Entegris(インテグリス)
米国インテグリス(Entegris, Inc.)社の生産及び保守対応終了モデルの修理に対応致します。
半導体製造ウェットエッチング工程他の薬液供給設備に多く使用されています。
- NSP-10G-1
- NSP-20F-1
- NSP-20G-1
- NSP-55G-1
- ENC0MPH02
- NSPH-10G-1
- NSPH-20E
- NSPH-20G-1
- NSPH-20KEL
- NSPH-20KEV
- NSPH-20KML
- NSPH-20KMV
- NSPH-55G-1
- NSPH-55KEL
- NSPH-55KEV
- NSPH-55KML
- NSPH-55KMV
2) Millipore(ミリポア)
ミリポア(Millipore Corp.)社の生産および保守対応終了モデルの修理に対応いたします。
おもに半導体製造ウェットエッチング工程ほかの薬液供給設備に使用されています。
- W2501PH02
製品情報
